• 超精密不鏽鋼減壓閥RS-KA

超精密不鏽鋼減壓閥RS-KA


用於潔淨室的超精密調節器,可通過使用滾動隔膜和測量膠囊進行壓力控制的伺服平衡系統進行精確的壓力調節。

部件由不銹鋼、Viton 製成,其他部件採用化學鍍鎳,因此粉塵產生量極低。